非接触厚さ計 関連機器 概要
高い安定性を有する静電容量式微少変位センサー（ギャップディテクター）を使用し、非接触・高精度の厚さ計測を実現します。計測対象や計測物形状に応じてお選びいただける9種類のセンサーと、厚さ計（CLシリーズ）や変位計（VTシリーズ）を組合せ、用途にあった最適なシステムが構築可能です。
タービン・電動機・コンプレッサー、工作機械主軸といった回転軸の軸振動や面触れの計測や、移動中の物体の厚さや幅の計測・制御などに威力を発揮します。変位量はもちろん、たわみ量、そり量の計測と監視など計測制御関係を中心とした幅広い応用が可能です。
| VE-5010 VEシリーズ センサー （ケーブル一体型） | VE-1020 VEシリーズ センサー （ケーブル一体型） | VE-1520 VEシリーズ センサー |
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| 特長 測定範囲 ： 50 ～ 500 μm 外形 ： Φ6 ケーブル長 ： 1.5 m |
特長 測定範囲 ： 100 ～1000 μm 外形 ： Φ8 ケーブル長 ： 1.5 m |
特長 測定範囲 ： 150 ～1500 μm 外形 ： Φ10 ケーブル （オプション） ： VL-1520/1521（1.5 m） |
| VE-3020 VEシリーズ センサー | VE-8020 VEシリーズ センサー | |
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| 特長 測定範囲 ： 300 ～3000 μm 外形 ： Φ20 ケーブル （オプション） ： VL-1520/1521 （1.5 m） |
特長 測定範囲 ： 800 ～8000 μm 外形 ： Φ40 ケーブル （オプション） ： VL-1520/1521 （1.5 m） |
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| 適合計測器 VT-5200/VT-5700、CL-7100/CL-7100S |
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| VE-2011 VEシリーズ センサー | VE-5011 VEシリーズ センサー | VE-1021 VEシリーズ センサー |
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| 特長 測定範囲 ： 20 ～200 μm 外形 ： Φ3 （先端） ケーブル （オプション） ： VL-1520/1521（1.5 m） |
特長 測定範囲 ： 50 ～500 μm 外形 ： Φ6 （先端） ケーブル （オプション） ： VL-1520/1521（1.5 m） |
特長 測定範囲 ： 100 ～1000 μm 外形 ： Φ8 （先端） ケーブル （オプション） ： VL-1520/1521（1.5 m） |
| VE-8021 VEシリーズ センサー | ||
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| 特長 測定範囲 ： 800 ～8000 μm 外形 ： Φ40 ケーブル （オプション） ： VL-1520/1521 （1.5 m） |
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| 適合計測器 VT-5200/VT-5700、CL-7100/CL-7100S |
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測定例1 フィルム （絶縁体） 厚さの監視
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ブロック図
| CL-7100 非接触厚さ計 | CL-7100S 非接触厚さ計 （センサーアンプ分離型） |
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.png?width=1920&height=1281&name=cl7100%20(1).png) |
CL-0710 センサーアンプ
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| 測定項目 Thickness：測定対象物の厚さ（導体/半導体） Gap A：センサーAと測定対象物とのギャップ Gap B：センサーBと測定対象物とのギャップ A-B：段差、平行度（A-B) Thickness：測定対象物の厚さ（絶縁体） ※CL-0740絶縁体計測機能搭載時 Temperature：温度 ※CL-0741温度計測・補正機能搭載時 |
測定項目 Thickness：測定対象物の厚さ（導体/半導体） Gap A：センサーAと測定対象物とのギャップ Gap B：センサーBと測定対象物とのギャップ A-B：段差、平行度（A-B) Thickness：測定対象物の厚さ（絶縁体） ※CL-0740絶縁体計測機能搭載時 Temperature：温度 ※CL-0741温度計測・補正機能搭載時 |
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オプション
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オプション
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適合センサー |
適合センサー VEシリーズ |
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VTシリーズには、電源がAC専用の VT-5200シリーズ （実験室・研究向き用）とDC±15V専用の小型タイプ VT-5700シリーズ（ライン・組込み用）があります。
また、出力の応答周波数は4kHz、10kHzとありますので、用途に応じて選択してください。
| VT-5210 非接触変位計 （4 kHz） | VT-5220 非接触変位計 （10 ｋHz） | VT-5710 非接触変位計 （4 kHz） |
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| 特長 出力 ： 0 ～ 5 V / 0 ～100 %F.S. 直線性 ：±0.2 %F.S. / 10 ～ 100 %F.S. 応答周波数 ： DC ～ 4 kHz モニタ表示 ： 20分割LED アナログ出力オフセット機能 |
特長 出力 ： 0 ～ 5 V / 0 ～100 %F.S. 直線性 ：±0.25 %F.S. / 10 ～ 100 %F.S. 応答周波数 ： DC ～ 10 kHz モニタ表示 ： 20分割LED アナログ出力オフセット機能 |
特長 出力 ： 0 ～ 5 V / 0 ～100 %F.S. 直線性 ：±0.2 %F.S. / 10 ～ 100 %F.S. 応答周波数 ： DC ～ 4 kHz モニタ表示 ： 10分割LED |
| 電源 AC 100 ～ 240 V / 10 VA |
電源 DC ± 15 V / 100 mA |
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| VT-5720 非接触変位計 （10 kHz） | ||
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| 特長 出力 ： 0 ～ 5 V / 0 ～100 %F.S. 直線性 ：±0.25 %F.S. / 10 ～ 100 %F.S. 応答周波数 ： DC ～ 10 kHz モニタ表示 ： 10分割LED |
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| 電源 DC ± 15 V / 100 mA |
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| 適合センサー VEシリーズ | ||
| VL-1520 ケーブル長 1.5ｍ （両端ストレートタイプ コネクター） |
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| VL-1521 ケーブル長 1.5ｍ （L型コネクター-ストレートタイプ コネクター） |
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