顕微鏡ユニット

LV-0381

LV-0381 は、レーザードップラー振動計用の顕微鏡ユニットです。レーザードップラー振動計と顕微鏡光学系の組み合わせで、レーザー光を⌀2.5 µm に集光・照射する事で、微小物体の振動を最大 3 MHz（オプション装備で 20 MHz）まで検出することができます。
同軸落射照明と倍率の違う2台※ のデジタルビデオカメラで素早く正確な位置決めと、静止画像記録が可能となります。マイクロマシン、MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）をはじめとした小型機械部品、圧電、小型電子デバイス、微小構造物等の振動・挙動を非接触、高空間分解能で検出・評価する事ができます。
※ レーザードップラー振動計 LV-1800 に LV-0181 位置決め用内蔵カメラ装着時