三次元顕微鏡ユニット
LV-0383
三次元顕微鏡ユニットLV-0383 は、レーザードップラー振動計用の3次元顕微鏡ユニットです。3台のレーザードップラー振動計と顕微鏡装置により、3軸方向に発生する微小物体の振動を非接触で検出できます。同軸落射照明と倍率の違う2台※のデジタルビデオカメラで素早く正確な位置決めと、静止画像記録が可能となります。
MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）や微小構造・小質量の対象や、接触式での検出が困難な超音波駆動の対象振動の三次元挙動の評価を可能にします。
※ レーザードップラー振動計LV-1800に LV-0181 位置決め用内蔵カメラ装着時
※ 40 kHz以上の解析（サンプリング周波数：102.4 kHz）超についてはご相談ください。