三维显微镜装置
LV-0383
三维显微镜单元LV-0383是用于激光多普勒测振仪的三维显微镜单元。通过三台激光多普勒测振仪和显微镜装置，可以非接触地检测在三个轴向上产生的微小物体的振动。
同轴落射照明和两台不同倍率的数字摄像机※可以实现快速准确的定位和静态图像记录。
使得对MEMS（微电机械系统）及微小结构、小质量的对象，以及接触式检测困难的超声驱动对象振动的三维行为评估成为可能。
※激光多普勒测振仪LV-1800装配LV-0181定位用内置摄像机时
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LV-0381图像
LV-0151B物镜 (×10) 约0.6 mm×约0.5 mm -
LV-0181 (LV-1800选项)
LV-0151B物镜 (×10)
约2.1 mm×约1.6 mm
※分析频率超过40 kHz (采样频率:102.4 kHz) 时，请与我们联系。