三维显微镜装置

LV-0383

LV-0383 3D显微镜单元是一款用于激光多普勒测振仪的3D显微镜单元。它配备三个激光多普勒测振仪和一个显微镜，可以非接触式地检测微小物体在三个轴向方向上的振动。同轴反射照明和两个不同放大倍率*的数字摄像机可实现快速、精确的定位和静态图像记录。
这项技术能够评估 MEMS（微机电系统）、微结构、低质量物体以及难以用接触方法检测的超声波驱动物体等物体的三维振动行为。

*当 LV-0181 内置定位相机连接到 LV-1800激光多普勒测振仪

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可检测0.3 Hz~100 kHz ^※1的3轴非接触振动
可将检测对象和照射激光以2个倍率 (视野) 同时观察^※2并定位
激光光斑直径为4.5μm,可以检测微小物体。
激光多普勒测振仪兼容：LV-1800、LV-1710 ^*3 / LV-1720 ^*3 / LV-1720A ^*3。

MEMS (微电机系统) 评估
压电元件的剪切方向行为测量
超声波设备的测量
微观结构的三维振动检测

兼容的激光多普勒测振仪	LV-1800、LV-1710 ^* /LV-1720 ^* /LV-1720A ^* *停售产品
探测光学系统	检测器安装	M22 X 0.5长4 mm
	测量距离	38.9 mm (物镜10 x固定)
	点径	4.5 μm
目标观察装置	CMOS照相机	1280 x 960 (USB 2.0输出)
聚焦装置	方式	手动粗动·微动
	上下行程	30 mm
	粗动冲程	36毫米/旋转
	微动行程	0.2毫米/旋转
	悬浮量	100 mm
	防跌落	防跌落环装置
基座	材料	铝 (装有磁化钢板)
基座	大小	310 mm X 300 mm
激光产品辐射安全标准	激光安全类	3R类
三维光学系统	夹角	45°
	夹角调整	±1°
	夹角调整	±1°
	可扩展性	2轴二维
	激光聚焦	通过安装在各轴上的激光多普勒来实施
使用环境	使用环境	按照对应检测器
质量	17千克 (不含安装的传感器)

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