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电容式微量位移检测器
按订单生产
VEシリーズ

VE系列
VE系列
VE-1021
VE-2011
VE-5011

VE系列是能够高精度非接触地测量金属等导电体与传感器之间距离的微小位移、振动检测器。在涡轮机、电动机、压缩机等旋转机的轴振动和表面振动、移动中物体的厚度和宽度的测量、控制等方面发挥威力。不仅可用于位移量的测量,还可广泛用于挠曲量、弯曲量的测量和控制。

非接触检测,不会对旋转或振动物体施加负荷,而且不会改变振动模式。

备有测量范围20μm~8 mm用的9种传感器。测量体是金属的情况下,即使更换材质也可以不用重新校正传感器而进行测量。

VE系列与VT-5200/VT-5700系列电容式非接触位移计或CL-7100系列电容式非接触厚度计配合使用。

特性

  • 不受测量对象物的颜色、粗糙度、反射率及外部光线等的影响。

  • 因为是非接触测量,所以不会影响被测量物体。

  • 传感器结构简单耐用,使用范围广。

  • 如果测量对象是导电体,即使改变材质也无需重新校正即可进行测量。
     (除金属外,还可测定硅·碳·水面等) 

配置

配置#1

VE系列传感器与VT-5200/VT-5700系列专用转换器或CL-7100系列电容式非接触式测厚仪配合使用。测量对象物和测量精度因使用的转换器和厚度计而异。有关详细信息,请参见产品页面。

*VE系列传感器以转换器修正个体偏差。因此,传感器和转换器是一对一校准的。如果更换其它传感器 (包括同类传感器),则需要重新校准。

配置#2

实例

可测量的

如果测量对象物的材质是导电体,就可以测量。导体包括:。

金属板 铁、铝、不锈钢等金属。
硅晶片 和金属板一样可以测量。
铜箔基板 可以在蚀刻前测量双面铜箔基板的厚度。
糊状物 烧制前的电池极板等糊状产品。
碳板 垫片等材料中含有大量碳类材料。

测量时需要注意的事项

阳极氧化铝 阳极氧化铝加工的铝板,表面有绝缘膜,有时测量会变得不稳定。
涂漆的东西 涂上绝缘体涂料时,测量值中包含误差。
圆形的东西 VE传感器以平面为测量对象,因此曲面可能存在误差。
表面粗糙的东西 如果测量表面粗糙的物体,与接触式测量仪的测量值相比,会变薄。
使用本仪器测量时,表面凹凸大致平均。此外,如果表面非常粗糙,则可能无法测量。
多孔物质 测量对象物是多孔质的情况下,根据其开孔率测量得很薄。

绝缘体测量

如果测量对象是绝缘体,可通过在CL-7100系列电容式非接触厚度计中增加CL-0740绝缘体测量功能选项,高精度地测量绝缘体(玻璃、蓝宝石、水晶、塑料、塑料薄膜等)的厚度。

规格

标准类型

类型名称 VE-5010 VE-1020 VE-1520 VE-3020 VE-8020
测定范围 (μm) ※1 50~500 100~1000 150~1500 300~3000 800~8000
轮廓 (mm) ※2 ⌀6

VE-5010

⌀8

VE-1020

⌀10

VE-1520

⌀20

VE-3020

⌀40

VE-8020


(保持部<ORG3> 20)
电缆长度 1.5米 (电缆集成) VL-1520/VL-1521电缆 (1.5米) (单独销售)
使用温度范围※3 0~+80 ℃

<ORG3> 10mm共通夹紧形状类型

类型名称 VE-2011 VE-5011 VE-1021 VE-8021
测定范围 (μm) ※1 20~ 200 50~500 100~1000 800~8000
计量部外形 (mm) ※2 <ORG9> 3
(保持部) 10

VE-2011

<ORG9> 6
(保持部) 10

VE-5011

<ORG9> 8
(保持部) 10

VE-1021

<ORG9> 40
(保持部) 10

VE-8021

电缆长度 VL-1520/VL-1521电缆 (1.5米) (单独销售)
使用温度范围※3 0~+80 ℃

※1测量范围表示从传感器端面到测量对象的最大间隙。
※2测量对象物的测量面需要比传感器外径大的面积。
※3使用温度范围是指可作为传感器工作的温度范围,不是保证直线性的温度范围。为确保直线性,请在+23°C±2°C的温度下使用。有关VE系列的温度特性,请参见:。

可选信号电缆

VL-1520 (两端直型连接器) VL-1520 (两端均为直型接口)
VL-1521 (L型连接器-直型连接器) VL-1521 (L型连接器-直型连接器)

温度特性

ΔD≒ (K1×l + K2×D) Δt

K1 :传感器外壳材料的线膨胀率 (1.7×10-5)
K2 :传感器电极材料的表面膨胀率 (3.4×10-5)
l :传感器面与固定点之间的距离
Δt :温度变化
D :测量间隙
ΔD :变换器的输出变化

温度特性