静電容量式非接触変位計

VT-5700シリーズ

新開発 VEシリーズ静電容量式ギャップディテクタと VT シリーズ変換器の組み合わせにより、測定対象（鉄、アルミ、銅、各種金属メッキなどの導電体）までの距離・変位を非接触で高精度に測定する静電容量式微小変位計です。測定対象物面とそれと対向して設置された VE シリーズセンサー電極の端面とが形成するコンデンサーの静電容量から、センサー端面とターゲット面のギャップ・変位を測定します。 VT-5700 シリーズは組み込み用途に適した小型・低価格タイプで、応答周波数が 4kHz の VT-5710と高速応答 10kHz 対応の VT-5720 の2機種をラインナップ。タービン、電動機、コンプレッサといった回転機の軸振動や面振れ、シリコンウェハ、ハードディスク等導電体の反りや平面度・厚さの測定制御に威力を発揮します。非接触検出のため、回転あるいは振動する測定対象物に負荷をかけず、そのうえ振動モードをかえることもありません。VEセンサーは測定範囲 20μm～8 mm 用まで9種類を用意しました。

お問い合わせ

測定範囲 20μm～最大 8 mmのワイドレンジ
0.2％／F.S.の測定精度（変換器・センサー組合わせにて）
Max 10 ｋHzの高速周波数応答 - ダイナミックな変位変化にも高速応答（VT-5720）
組み込み用途に適した小型・低価格タイプ
非接触測定のため測定対象に影響を与えません
すべての導電体が測定可能 - 測定対象の色・粗さ・反射率・外光等の影響を受けません

型名	VT-5710	VT-5720
検出方法	静電容量式
出力	0～5 V/0～100 % F.S.
直線性	±0.2 % F.S. / 10～100 % F.S.	±0.25 % F.S. / 10～100 % F.S.
応答周波数	DC ～4 kHz	DC ～10 kHz
指示部	0～100 % / 10 分割 LED
動作温度範囲	0 ～+40 ℃（精度保障範囲：23±2 ℃）
使用電源	DC ±15 V、100 mA
外形寸法	56 （W）×42.4（H） ×122（D） mm （突起部含まず）
質量	約 500 g
価格

型名	VE-5010	VE-1020	VE-1520	VE-3020	VE-8020
測定範囲（μm）^※1	50～500	100～1000	150～1500	300～3000	800～8000
外形（mm）^※2	⌀6	⌀8	⌀10	⌀20	⌀40 (保持部⌀20)
ケーブル長	1.5m（ケーブル一体型）		別売 VL-1520/VL-1521 ケーブル（1.5m）
温度係数	k₁＝1.7×10^-5、k₂＝3.4×10^-5
使用温度範囲^※3	0～+80 ℃
価格

型名	VE-2011	VE-5011	VE-1021	VE-8021
測定範囲（μm）^※1	20～ 200	50～500	100～1000	800～8000
計測部外形（mm）^※2	⌀3 (保持部⌀10)	⌀6 (保持部⌀10)	⌀8 (保持部⌀10)	⌀40 (保持部⌀10)
ケーブル長	別売 VL-1520/VL-1521 ケーブル（1.5m）
温度係数	k₁＝1.7×10^-5、k₂＝3.4×10^-5
使用温度範囲^※3	0～+80 ℃
価格