TEDS対応高感度小型3軸加速度センサー NP-3580N10を発表

電子計測器の製造および販売を行う株式会社小野測器（代表取締役社長：大越 祐史）は、2026年10月5日（月）に新製品「TEDS対応高感度小型3軸加速度センサーNP-3580N10」を発表、発売しました。

半導体製造装置や精密加工機などの分野においてナノメートルレベルの微細化が進む現在、加工精度に直結するわずかな振動の管理が不可欠となっています。製品品質を守るためには、こうした微小な揺れの計測が重要となっています。しかし、一般的な汎用センサーでは、微小な振動がセンサー自身のノイズに埋もれてしまい、計測が困難な場合がありました。さらに、実際に計測したい内部の加工部フレーム等は限られたスペースしかありません。よって、現場では「高感度」と「小型・軽量」を両立したセンサーが求められています。
本製品は、19.5mm角という小型サイズと25g未満の軽量化を実現しつつ、100mV/(m/s²)の高感度と低ノイズ性能を両立しました。これにより、装置内部の限られたスペースに直接取り付けでき、ノイズに埋もれていた微小振動を検出することが可能となり、精密加工分野が抱える課題の解決に大きく貢献します。

特長

高感度、低ノイズ

感度100mV/(m/s²)、センサーノイズ400μm/s² rms以下を実現し、感度10mV/ (m/s²)では計測が困難だった微小な振動を捉えます。

小型、軽量設計

19.5mm角、質量25g未満のため、大型の製造装置内や限られたスペースのフレームにも容易に設置可能です。

TEDS（Transducer Electronic Data Sheet）対応

計測機器に接続するだけでセンサー情報の自動読み込みが可能となり、設定の省力化や誤設定の防止に貢献します。

ターゲット市場・主な用途

• 半導体製造装置（露光装置など）や精密加工機の設計・開発、保全における振動評価

• 顕微鏡、三次元測定機、除振台などの微小振動計測や状態把握

• 装置と床の伝達特性の把握、実験モード解析、外乱要因の特定および対策