静電容量式厚さ計・変位計 よくあるご質問

CL-5610 による絶縁体の厚み計測は下図のように、VEセンサーと基準面を固定し、その間に厚みを計測したい絶縁体を挟み込むことで可能となります。

その手順は、
1．導体の基準面状にVEセンサーをセンサーの仕様ギャップ範囲内で設置。
2．VEセンサーと基準面のギャップを計測。
3．計測したい絶縁体の誘電率を CL-5610内に設定。
4．基準ギャップを変えないまま、計測対象の絶縁体を基準面上に挿入。
という操作となります。

なぜこういった操作をすることで絶縁体の厚さを計測できるのでしょうか。

CL-5610 を使った絶縁体の厚み計測は、コンデンサーの一部に誘電率の異なる物質を挿入したとき、静電容量がどのように計算できるかを考えることで理解しやすくなります。

まず、図1のようなコンデンサーを考えます。

コンデンサーを直列に繋いだとき、合成容量 C と各々の容量 C1、C2 の間には下記の関係式が成り立ちます。



ここで



と計算できるので、

C1 と C2 の合成容量 C は、


となります。
上記で求めた合成容量の関係式

は 図3でも成り立ちます。

という手法でおこなうことも可能です。