静電容量式厚さ計・変位計 よくあるご質問

金属やカーボン等の電気が流れる導体と、シリコンウェハなどの半導体の【変位】、および2つのセンサーを使うことで【厚み】を計測できます。

また、薄いフィルムやガラスウェハなどの、絶縁体の【厚み】も計測できます。