導体・半導体の厚さと変位量、絶縁体の厚さを高精度測定
従来比2．5倍のワイド測定レンジ
高精度・高分解能・優れた直線性
2ch の変位計としても使用可能
新開発のVEシリーズ静電容量式ギャップディテクタとCL-5600シリーズ静電容量式非接触厚さ計を組み合わせることで、導体（鉄、アルミ、銅、各種金属メッキなどの)や半導体(シリコンウｪハなど）の厚さと変位を高精度に計測することができます。オプションを追加することで、絶縁体(硝子、プラスチックなど)の厚さも高精度に測ることができます。 また、2ch変位計として使う場合、AchとBchの2つの変位計測値を同時に表示することができます。
VEセンサーとターゲット面とから、対向する一対の電極（コンデンサー)が形成されます。“コンデンサー”の静電容量は、電極間の距離と相関関係にあります。VEセンサーはこの静電容量を非接触で測定することができますので、対象物に負荷をかけずに高精度な計測を可能にします。
同時に、小型の信号変換器を分離したCL-5600Sを発売します。この信号変換器をVEセンサーの近傍に設置することで、信号変換器から表示器間を最大10m(オプション)まで延長することができます。このようにCL-5600Sは、製造ラインなどで、比較的容易に装置に組み込んで使っていただけるような構造になっています。
