静電容量式非接触厚さ計
リスト規制該当品
CL-5610シリーズ
CL-5610/CL-5610Sは、ギャップディテクタ VEシリーズセンサーと接続して、導体や半導体、絶縁体の厚みを計測する非接触厚さ計です。VEシリーズセンサーを2個まで接続することができます。また、2 ch のギャップ計測器としても使用できます。 CL-5610 はセンサー用アンプを本体に内蔵し、VEセンサーを厚さ計本体に直接接続して使用します。デスクトップでのオフライン計測に適しています（センサーと本体間のケーブルは 1.5 m で延長はできません）。 CL-5610S はセンサー用アンプを外部に独立させ、VEセンサーと厚さ計本体を離して使用します。本体と外部アンプ間のケーブル長は標準で 2.5 m、オプションにて最大 10 mまで延長可能です。装置への組み込みなど、センサー設置位置と厚さ計本体を離して設置する場合に適しています。
導体・半導体を測定する場合
2つのセンサーと被測定物をセンサー測定範囲内で平行に設置し、このセンサー間隔（Gs）を CL-5610シリーズに設定します。センサー A 、B 間に被測定物を挿入して、各々のセンサー～被測定物のギャップ（Ga、Gb）を測定して、厚さ(t)をもとめます。
絶縁体を測定する場合（オプション）
センサーと導体（基準床）を平行に設置し、センサーのギャップ測定値（この時の電圧出力 Gs）を CL-5610シリーズに設定します。センサーと導体（基準床）の間に被測定物を挿入すると、センサーの電圧出力は Ga となり、このセンサー電圧変化分と比誘電率 εr から厚さ(t)をもとめます。
※計測可能な絶縁体の厚みは、センサーと基準床間のGAP値の約1/3以下を目安としてください。
| 計測対象 | 導体、半導体、絶縁体 ＊1 ＊1 CL-0300 絶縁体測定機能オプションが必要です。 |
|||||||||||||||||||||||||||||||||
| センサー入力 | 2チャンネル（A、B）静電容量式センサー | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 測定項目 |
|
|||||||||||||||||||||||||||||||||
| 表示モード |
|
|||||||||||||||||||||||||||||||||
| 適合センサーと表示分解能 |
新型 VEシリーズ静電容量式ギャップディテクタとの組み合わせにより、次の表示分解能となります。
＊1：VE-5010/5011 は、CL-0201 測定範囲変更オプションにより測定範囲を 20～200 μm に指定することができます。その際の高分解能オプション装着時の表示分解能は 0.02 μｍ となります。 |
|||||||||||||||||||||||||||||||||
| 精度 | ±0.15 %/F.S.(標準) ±0.12 %/F.S.(CL-0200高分解能演算機能オプション装着時＜VE-8020/8021を除く＞） |
|||||||||||||||||||||||||||||||||
| 精度保証温度範囲 | 23℃ ± 2℃ | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 表示部 | 蛍光表示管 測定結果の表示は1項目（大文字）／2項目（小文字）の切替可能 |
|||||||||||||||||||||||||||||||||
| パラメーター設定 | 測定・演算に必要な各種パラメーターはパネル面の各種キーを使用し、内部メモリーに設定します。これらの設定値はパワーオフメモリーにより電源を切っても記憶されます。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| サンプリング時間 | 20 ms | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| アベレージング | 移動平均：1～64 回 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| インタフェース | RS-232C：本器のリモートコントロール、および計測データの取り込みが可能。DPU-414 プリンタ（別売）に印字可能 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| BCD 出力機能 （オプション：CL-0120） |
計測結果を 6 桁パラレル BCD で出力 出力方式：オープンコレクタ出力 出力データ：GAP-A、GAP-B、THICK、A-B、DISP2 表示値から選択 データ更新時間：20 ms 接続ケーブル：AA-8207 (3 m、片側オープン） |
|||||||||||||||||||||||||||||||||
| リモート機能 |
外部から演算機能の開始／停止、厚さ校正などの操作可能 リモート端子 ピン配列と入力信号
※適合コネクター：R03-PB8M（多治見無線製） |
|||||||||||||||||||||||||||||||||
| SYNC機能 | CL-5610／CL-5610S を複数台並列同期運転可能(マスタ1台に対し2台まで)*1 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 電源 | AC 100V～240V 50／60 Hz | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 使用環境（本体のみ） | 温度：＋23 ℃±2 ℃（精度保証範囲）、0 ℃～＋40 ℃（使用範囲） 湿度：20～80 % R.H.（ただし結露しないこと） |
|||||||||||||||||||||||||||||||||
| 外形寸法 |
210（W）×99（H）×275（D）mm（CL-5610/CL-5610S 本体 突起部含まず）
56（W）×42.4（H）122（D）mm（CL-5610S用 変換器 CL-0420 突起部含まず）
|
|||||||||||||||||||||||||||||||||
| 質量 | 約 4.2 kg（CL-5610/CL-5610S 本体） 約 0.5 kg ×2（CL-5610S用 変換器 CL-0420） |
|||||||||||||||||||||||||||||||||
| 価格 | CL-5610：
CL-5610S： |
|||||||||||||||||||||||||||||||||
*1 SYNC機能を使用するには機器同士の調整が必要です。ご希望の場合は別途お問い合わせください。
| アナログ出力 | 端子数：3（SENSOR A、SENSOR B、A-OUT)
|
||
| コンパレーター機能 | 出力数：3（COMP1、COMP2、COMP3） 出力方式：オープンコレクタ出力 設定値：上限値、および下限値 モード：個別モード、および ALL モード
|
||
| 価格 |
CL-015 は、CL-5610/CL-5610S と VE センサー（保持部⌀10） とを組み合わせて、シリコンウェハーなどの 半導体・導体ウェハーの厚さを非接触測定するための簡易型手動式スライドテーブルです。真空吸着ピンセットが使いやすいように、ウェハーを乗せる盤面に切り溝をつけてあります。
対象ウェハー 外径：100～150 mm 厚さ：0.1～1 mm
その他、200 mm、300 mm等 特注テーブル製作可能です。