电容式非接触式厚度测量仪
符合清单规定的产品
CL-5610シリーズ
CL-5610/CL-5610S是非接触厚度计，与间隙检测器VE系列传感器连接，测量导体、半导体和绝缘体的厚度。最多可以连接两个VE系列传感器。它也可以用作2ch间隙测量仪。CL-5610将传感器用放大器内置在主机内，将VE传感器直接连接到厚度计主机上使用。适用于桌面离线测量 (传感器和主机之间的电缆长度为1.5米，不可延长) 。CL-5610S是将传感器用放大器从外部独立，VE传感器和厚度计主体分开使用。主机和外部放大器之间的电缆长度标准为2.5 m,可选择最长可延长至10 m。适用于装入装置等，将传感器安装位置与厚度计主体分开安装的情况。
测量导体、半导体时
在传感器测量范围内平行放置2个传感器和测量对象，并为CL-5610系列设置此传感器间距 (Gs) 。在传感器A、B之间插入被测物，测量各传感器~被测物之间的间隙(Ga、Gb)，计算厚度 (t) 。
用于测量绝缘体 (可选)
传感器与导体 (基准地板) 平行放置，将传感器的间隙测量值 (此时的电压输出Gs) 设置为CL-5610系列。当测量对象插入传感器和导体 (参考地板) 之间时，传感器的电压输出变为Ga,厚度 (t) 由传感器电压变化和相对介电常数εr计算。
※可测量的绝缘体厚度，请以传感器与基准地板间GAP值的约1/3以下为标准。
| 测量对象 | 导体、半导体和绝缘体*1 *1CL-0300需要绝缘体测量功能选项。 |
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| 传感器输入 | 双通道(A、B)电容传感器 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 测量项目 |
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| 显示模式 |
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| 匹配传感器和显示分辨率 |
结合新型VE系列电容式间隙检测器，可实现以下显示分辨率。
*1:VE-5010/5011可通过CL-0201测量范围更改选项将测量范围指定为20~200μm。此时安装高分辨率选件时的显示分辨率为0.02μm。 |
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| 精度 | ±0.15%/F.S. (标准) ±0.12%/F.S. (安装CL-0200高分辨率运算功能选项时<VE-8020/8021除外>) |
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| 精度保证温度范围 | 23°C ± 2°C | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 显示部 | 荧光显示管 测量结果显示可在1项 (大写) /2项 (小写) 之间切换 |
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| 参数设置 | 测量、运算所需的各种参数使用面板上的各种按键，设置在内部存储器中。即使电源关闭存储器切断电源，这些设定值也会被保存。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 取样时间 | 20 ms | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 平均 | 移动平均值:1~64次 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 接口 | RS-232C:可对本机进行远程控制及读取测量数据。可在DPU-414打印机上打印 (单独销售) | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| BCD输出功能 (选项:CL-0120) |
以6位并行BCD输出测量结果 输出方式:开放式收集器输出 输出数据:GAP-A、GAP-B、THICK、A-B、DISP2从显示值中选择 数据更新时间:20 ms 连接线:AA-8207 (3m,单侧开口) |
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| 远程功能 |
可从外部进行运算功能的开始/停止、厚度校正等操作 远端引脚排列和输入信号
※适用接口:R03-PB8M (多治见无线制造) |
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| SYNC功能 | 多台CL-5610/CL-5610S可并行同步运行 (1台主机最多2台) *1 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 电源 | AC 100V~240V 50/60 Hz | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 使用环境 (仅主机) | 温度:+23°C±2°C (精度保证范围)、0°C~+40°C (使用范围) 湿度:20~80%R.H. (但不结露) |
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| 外部尺寸 |
210 (W) ×99 (H) ×275 (D) mm (不含CL-5610/CL-5610S主体突起部分)
56 (W) ×42.4 (H) 122 (D) mm (不含CL-5610S用转换器CL-0420突起部)
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| 质量 | 约4.2 kg (CL-5610/CL-5610S本体) 约0.5 kg×2 (CL-5610S用转换器CL-0420) |
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| 价格 | CL-5610: CL-5610S: |
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*1要使用SYNC功能，设备之间需要进行调整。如有需要，请另行咨询。
| 模拟输出 | 端子数:3 (SENSOR A、SENSOR B、A-OUT)
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| 比较器功能 | 输出数:3 (COMP1、COMP2、COMP3) 输出方式:开放式收集器输出 设定值:上限值及下限值 模式:个别模式及ALL模式
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| 价格 |
CL-015是简易型手动滑台，通过组合CL-5610/CL-5610S和VE传感器 (保持部<ORG3> 10)，非接触测量半导体和导体晶片 (如硅晶片) 的厚度。为了使真空吸附镊子易于使用，在放置晶片的盘面上有切槽。
对象晶圆外径:100~150 mm厚度:0.1~1 mm
其他可制作200 mm、300 mm等特制工作台。