高精度测量导体、半导体的厚度和变位量、绝缘体的厚度
与以往相比为2.5倍的宽测量范围
高精度、高分解能、优异的直线性
可作为2ch的变位计使用
通过组合使用新开发的VE系列电容式间隙检测器和CL-5600系列电容式非接触厚度计，可高精度测量导体(铁，铝，铜，各种金属镀层)和半导体 (硅晶圆等) 的厚度和位移。通过添加选项，可以高精度地测量绝缘体(玻璃、塑料等)的厚度。此外，当用作2ch位移计时，可以同时显示两个位移测量值:Ach和Bch。
VE传感器和目标表面形成一对相对的电极 (电容器) 。“电容器”的电容与电极之间的距离相关。VE传感器可以非接触方式测量静电容量，因此可以在不增加对象负荷的情况下实现高精度测量。
同时，我们将推出分离小型信号转换器的CL-5600S。通过将信号转换器安装在VE传感器附近，信号转换器和显示器之间的距离可延长至10米 (可选) 。如上所述，CL-5600S具有可以相对容易地组装到生产线等设备中使用的结构。
