測定範囲 0 ～ 最大 8 mm のワイドレンジ
0.2％／F.S.の高精度（変換器・センサー組合わせにて）
Max 10 kHz 高速周波数応答により軸振れや面振れなどのダイナミックな変位変化にも高速応答
全ての導電体が測定可能 - 測定対象の色・粗さ・反射率・外光等の影響を受けません
新開発 VE シリーズ静電容量式ギャップディテクタと VT シリーズ変換器の組合せにより、測定対象（鉄、アルミ、銅、各種金属メッキなどの導電体）までの距離・変位を非接触で高精度に測定する静電容量式微小変位計です。 測定対象物面とそれと対向して設置された VE シリーズセンサー電極の端面とが形成するコンデンサーの静電容量から、センサー端面とターゲット面のギャップ・変位を測定します。タービン、電動機、コンプレッサなどの回転機の軸振動や面振れ 、シリコンウェハやハードディスク等導電体の反り・平面度・厚さの測定制御に威力を発揮します。非接触検出ですから、回転あるいは振動する測定対象物に負荷をかけず、しかも振動モードをかえることもありません。
VE センサーは測定範囲が最大 8mm 用までの5種類を用意。変換器は、組み込み用途に適した小型・低価格の VT-5700 シリーズと実験用途などに最適な VT-5200 シリーズの2機種、両シリーズとも周波数応答が4kHzのタイプと高速応答 10kHz 対応の2タイプをラインナップしました。
