测量范围0~最大8 mm的宽范围
0.2%/F.S.的高精度 (组合使用变换器、传感器)
Max 10 kHz高速频率响应,对轴跳动、表面跳动等动态位移变化也能高速响应
可测量所有导电体-不受测量对象的颜色、粗糙度、反射率、外部光线等的影响
新开发的VE系列静电容量式间隙检测器和VT系列转换器的组合,非接触高精度测量到测量对象(铁、铝、铜、各种金属镀层等导电体)的距离・位移的静电容量式细微位移计。根据测量对象物面和相对设置的VE系列传感器电极的端面形成的电容器的静电容量,测量传感器端面和靶面的间隙、位移。在涡轮机、电动机、压缩机等旋转机的轴振动和表面跳动、硅片和硬盘等导电体的翘曲、平面度、厚度的测量控制中发挥威力。由于是非接触检测,因此不会对旋转或振动的测量对象施加负荷,并且不会改变振动模式。
备有测量范围最大至8mm用的5种VE传感器。转换器有适合嵌入用途的小型低价VT-5700系列和最适合实验用途的VT-5200系列2个机种,两个系列都有频率响应为4kHz的类型和支持高速响应10kHz的2个类型。
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