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CL-6200シリーズ
「＜非接触厚さ計＞CL-6200シリーズ」は、当社製の静電容量式変位センサー「VEシリーズ」と組合せて使用する非接触厚さ計であり、新たに開発した測定方法（特許出願中）を採用して、ガリウムヒ素（GaAs）ウェハの非接触厚さ測定を業界で初めて実現しました。また、補助信号やユーザ定義の演算式を併用することで金属板に塗布された塗膜などの非接触厚さ測定も可能です。本体内に2次処理機能を搭載することで、測定からデータ処理までを1台で行うことができます。もちろん、2CHの高精度変位計としても使用可能です。
豊富なインタフェースの標準装備により、外部機器との親和性を高め、システムの拡張性重視の設計思想を採用、プリンタ用としてのセントロニクス準拠出力、パソコン等のインタフェースとしてRS―232Cを標準装備し、オプションでGPIBインタフェースが実装可能です。シーケンサとの接続には標準でオープンコレクタBCD出力を搭載しており、オプションでインライン用のパラレルI／Oインタフェースも選択することができます。
- 価格
本体価格 ￥1，000，000より - 販売開始時期
1996年12月4日より
