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CL-6200系列
“<非接触厚度测量仪>CL-6200系列”是与本公司制造的静电容量式位移传感器“VE系列”组合使用的非接触厚度测量仪，采用了新开发的测量方法 (正在申请专利)，在业界首次实现了砷化镓 (GaAs) 晶圆的非接触厚度测量。另外，通过并用辅助信号和用户定义的演算式，也可以测量涂在金属板上的涂膜等的非接触厚度。通过在主机内安装二次处理功能，可以在一台机器上执行从测量到数据处理。当然，也可以作为2CH的高精度位移计使用。
通过标准配备丰富的接口，提高与外部设备的亲和性，采用重视系统扩展性的设计思想，标准配备RS―232C作为打印机用Centronics标准输出、个人电脑等的接口，可选装GPIB接口。开路收集器BCD输出是与定序器连接的标准配置，并提供可选的内联并行I/O接口。
- 价格
本体价格¥100万起 - 开始贩售时期
1996年12月4日起
