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电容式微量位移检测器
按订单生产
VEシリーズ

VE系列
VE系列
VE-1021
VE-2011
VE-5011

VE系列是一款微位移和振动检测器,能够高精度、非接触式地测量传感器与导电材料(例如金属)之间的距离。它非常适用于测量和控制旋转机械(例如涡轮机、电动机和压缩机)的轴振动和表面跳动,以及测量运动物体的厚度和宽度。除了测量位移外,它还广泛应用于测量和控制挠度和翘曲。

由于它是一种非接触式检测方法,因此不会对旋转或振动的物体施加任何负载,也不会改变振动模式。

共有九种传感器可供选择,测量范围从 20 μm 到 8 mm。测量金属物体时,即使材料发生变化,也无需校准传感器即可进行测量。

VE 系列与 VT-5200/VT-5700 系列电容式非接触位移计或 CL-7100 系列电容式非接触厚度计配合使用。

特性

  • 不受测量对象物的颜色、粗糙度、反射率及外部光线等的影响。

  • 因为是非接触测量,所以不会影响被测量物体。

  • 传感器结构简单耐用,使用范围广。

  • 如果被测物体是导体,即使材料发生变化,也可以无需校准即可进行测量。
     (除了金属,它还可以测量硅、碳、水面等。) 

配置

配置#1

VE系列传感器需与VT-5200/VT-5700系列专用转换器或CL-7100系列电容式非接触式厚度计配合使用。测量对象及测量精度因所使用的转换器和厚度计而异。详情请参阅各产品页面。

*VE系列传感器通过转换器对个体偏差进行校正。因此,传感器与转换器呈一对一校准。若更换为其他传感器(包括同型号),则需重新校准。

配置#2

实例

可测量的

如果测量对象物的材质是导电体,就可以测量。导体包括:。

金属板 铁、铝、不锈钢等金属。
硅晶片 和金属板一样可以测量。
铜箔基板 可以在蚀刻前测量双面铜箔基板的厚度。
糊状物 烧制前的电池极板等糊状产品。
碳板 垫片等材料中含有大量碳类材料。

测量时需要注意的事项

阳极氧化铝 阳极氧化铝加工的铝板,表面有绝缘膜,有时测量会变得不稳定。
涂漆的东西 涂上绝缘体涂料时,测量值中包含误差。
圆形的东西 VE传感器以平面为测量对象,因此曲面可能存在误差。
表面粗糙的东西 如果测量表面粗糙的物体,与接触式测量仪的测量值相比,会变薄。
使用本仪器测量时,表面凹凸大致平均。此外,如果表面非常粗糙,则可能无法测量。
多孔物质 测量对象物是多孔质的情况下,根据其开孔率测量得很薄。

绝缘体测量

如果测量对象是绝缘体,可通过在CL-7100系列电容式非接触厚度计中增加CL-0740绝缘体测量功能选项,高精度地测量绝缘体(玻璃、蓝宝石、水晶、塑料、塑料薄膜等)的厚度。

规格

标准类型

类型名称 VE-5010 VE-1020 VE-1520 VE-3020 VE-8020
测定范围 (μm) ※1 50~500 100~1000 150~1500 300~3000 800~8000
轮廓 (mm) ※2 ⌀6

VE-5010

⌀8

VE-1020

⌀10

VE-1520

⌀20

VE-3020

⌀40

VE-8020


(保持部<ORG3> 20)
电缆长度 1.5米 (电缆集成) VL-1520/VL-1521电缆 (1.5米) (单独销售)
使用温度范围※3 0~+80 ℃

<ORG3> 10mm共通夹紧形状类型

类型名称 VE-2011 VE-5011 VE-1021 VE-8021
测定范围 (μm) ※1 20~ 200 50~500 100~1000 800~8000
计量部外形 (mm) ※2 <ORG9> 3
(保持部) 10

VE-2011

<ORG9> 6
(保持部) 10

VE-5011

<ORG9> 8
(保持部) 10

VE-1021

<ORG9> 40
(保持部) 10

VE-8021

电缆长度 VL-1520/VL-1521电缆 (1.5米) (单独销售)
使用温度范围※3 0~+80 ℃

※1测量范围表示从传感器端面到测量对象的最大间隙。
※2测量对象物的测量面需要比传感器外径大的面积。
※3使用温度范围是指可作为传感器工作的温度范围,不是保证直线性的温度范围。为确保直线性,请在+23°C±2°C的温度下使用。有关VE系列的温度特性,请参见:。

可选信号电缆

VL-1520 (两端直型连接器) VL-1520 (两端均为直型接口)
VL-1521 (L型连接器-直型连接器) VL-1521 (L型连接器-直型连接器)

温度特性

ΔD≒ (K1×l + K2×D) Δt

K1 :传感器外壳材料的线膨胀率 (1.7×10-5)
K2 :传感器电极材料的表面膨胀率 (3.4×10-5)
l :传感器面与固定点之间的距离
Δt :温度变化
D :测量间隙
ΔD :变换器的输出变化

温度特性