电容式微量位移检测器

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VEシリーズ

VE系列是能够高精度非接触测量金属等导电体与传感器之间距离的微小位移和振动检测器。它在涡轮、电动机、压缩机等旋转机械的轴振动、面振动，以及移动物体的厚度和宽度的测量与控制等方面表现出色。除了位移量的测量外，还可以广泛应用于挠度量、翘曲量的测量与控制。

由于是非接触检测，因此不会对旋转或振动物体施加负荷，并且不会改变振动模式。

测量范围为20μm～8 mm，提供9种传感器可供选择。当测量体为金属时，即使更改材质也可以在不重新校准传感器的情况下进行测量。

VE系列与VT-5200/VT-5700系列电容式非接触位移计或CL-7100系列电容式非接触厚度计组合使用。

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不受测量对象物的颜色、粗糙度、反射率及外部光线等的影响。
因为是非接触测量，所以不会影响被测量物体。
传感器结构简单耐用，使用范围广。
如果测量对象是导体，即使更改材料也可以在不重新校准的情况下进行测量。
（除了金属外，还可以测量硅、碳、水面等）

VE系列传感器需与VT-5200/VT-5700系列专用转换器或CL-7100系列电容式非接触式厚度计配合使用。测量对象及测量精度因所使用的转换器和厚度计而异。详情请参阅各产品页面。

＊VE系列传感器通过转换器对个体偏差进行校正。因此，传感器与转换器呈一对一校准。若更换为其他传感器（包括同型号），则需重新校准。

金属板	铁、铝、不锈钢等金属。
硅晶片	和金属板一样可以测量。
铜箔基板	可以在蚀刻前测量双面铜箔基板的厚度。
糊状物	烧制前的电池极板等糊状产品。
碳板	垫片等材料中含有大量碳类材料。

阳极氧化铝	阳极氧化铝加工的铝板，表面有绝缘膜，有时测量会变得不稳定。
涂漆的东西	涂上绝缘体涂料时，测量值中包含误差。
圆形的东西	VE传感器以平面为测量对象，因此曲面可能存在误差。
表面粗糙的东西	如果测量表面粗糙的物体，与接触式测量仪的测量值相比，会变薄。使用本仪器测量时，表面凹凸大致平均。此外，如果表面非常粗糙，则可能无法测量。
多孔物质	测量对象物是多孔质的情况下，根据其开孔率测量得很薄。

型号	VE-5010	VE-1020	VE-1520	VE-3020	VE-8020
测定范围 (μm) ^※1	50～500	100～1000	150～1500	300～3000	800～8000
轮廓 (mm) ^※2	⌀6	⌀8	⌀10	⌀20	⌀40 (保持部<ORG3> 20)
电缆长度	1.5米 (电缆集成)		VL-1520/VL-1521电缆 (1.5米) (单独销售)
使用温度范围^※3	0～+80 ℃

型号	VE-2011	VE-5011	VE-1021	VE-8021
测定范围 (μm) ^※1	20～ 200	50～500	100～1000	800～8000
计量部外形 (mm) ^※2	<ORG9> 3 (保持部) 10	<ORG9> 6 (保持部) 10	<ORG9> 8 (保持部) 10	<ORG9> 40 (保持部) 10
电缆长度	VL-1520/VL-1521电缆 (1.5米) (单独销售)
使用温度范围^※3	0～+80 ℃