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电容式非接触式厚度测量仪
NEW 按订单生产
CL-7100シリーズ

作为长期畅销产品“CL-5610系列”的后续产品，“CL-7100系列”大幅提高了测量精度和响应性能。
还搭载了温度测量和以太网通信等新功能。
适用于硅晶圆、电磁钢板、EV电池用薄膜等各种材料，通过与多种位移传感器的组合，实现高精度的厚度测量和检查工序的高效化。

特性

非接触测量

实现高可重复性，不会对测量对象产生物理影响。

高精度、高响应的测量性能

与传统产品相比，可以实现更高精度的测量(±0.05% FS~±0.12% FS,与传感器组合)，并且计算周期从20 ms缩短到10 ms。支持多点连续测量和高速线路，可同时实现缩短检查时间和高品质测量。

温度测量和校正功能，联网 (可选)

利用PT-100温度传感器可以测量环境温度。通过在测量厚度的同时获取温度数据，修正温度变化带来的测量误差，实现更高精度的测量。
支持以太网通信，支持通过网络进行统一管理、数据收集、远程监控。

直观的彩色液晶触摸屏显示器

通过可视的彩色液晶显示屏和易于理解的菜单结构，快速访问所需信息。在一个屏幕上同时显示最多四个项目的测量数据，例如位移，厚度，温度等。无需切换屏幕即可同时查看多个信息，从而快速了解测量情况。
支持硬键操作，即使戴着手套也能在各种现场环境中确实舒适地操作。

小型、轻量、低耗电

通过小型轻量化设计，体积和重量均实现了原来的约50%。此外，通过低功耗降低环境负担，为实现碳中和做出贡献。

配有CL-0731或CL-0732选件的比较器功能可用于在线异常监测

测量对象 导体和半导体 绝缘体
硅片，钢板，铝板，硬盘，印刷电路板，其他金属板等清洁要求，柔软，镜面表面，易划伤。 玻璃、聚乙烯、聚丙烯等塑料类。
(测量对象是由整体性质均匀的单一材料构成的薄物。)

※除上述测量样品外，关于中间材质、复合材质的测量，请咨询我们。

配置

  • 配置

规格

测量方法

  • 测量导体、半导体时

    测量导体、半导体时

    在传感器测量范围内平行安装2个传感器和测量对象，并为CL-7100系列设置此传感器间距 (Gs) 。在传感器A和B之间插入测量物体，测量传感器和测量物体之间的间隙(Ga、Gb)并计算厚度 (t) 。

  • 用于测量绝缘体 (可选)

    用于测量绝缘体 (可选)

    传感器与导体 (基准地板) 平行放置，将传感器的间隙测量值 (此时的电压输出Gs) 设置为CL-7100系列。在传感器和导体 (基准地板) 之间插入测量对象时，传感器的电压输出为Ga,根据该传感器电压变化量和相对介电常数ε r计算厚度 (t) 。

概要规格

测量项目 Thickness:测量对象物的厚度 【导体/半导体/绝缘体※】 ※CL-0740绝缘体搭载测量功能时
间隙A:传感器A与测量对象物之间的间隙 【仅导体/半导体】
间隙B:传感器B和测量对象物之间的间隙 【仅导体/半导体】
A-B (传感器A和B的差) :台阶、平行度 (A-B) 【仅导体/半导体】
Temperature:温度※CL-0741安装温度测量、修正功能时
匹配传感器和显示分辨率   传感器 分辨率
标准 VE-2011/VE-5011/VE-1021
VE-5010/VE-1020		 0.1 µm
VE-1520 0.5 µm
VE-3020
VE-8020/VE-8021		 1.0 µm
CL-0720配备高分辨率运算功能时 VE-2011 0.02 µm
VE-5010/ VE-5011 0.05μm
※CL-0722VE测定范围变更功能搭载时:0.02μm
VE-1020/ VE-1021 0.1 µm
VE-1520 0.2 µm
VE-3020
VE-8020/VE-8021		 0.5 µm
测量精度   传感器 精度
标准 VE-5010/VE-1020/VE-1520/VE-3020/VE-8020/
VE-2011/VE-5011/VE-1021/VE-8021		 ± 0.15 % FS
CL-0720配备高分辨率运算功能时 VE-2011 ± 0.12 % FS
VE-5010/VE-5011 ± 0.10 % FS
VE-1020/VE-1021/VE-1520/VE-3020/VE-8020/
VE-8021		 ± 0.05 % FS
传感器输入电缆 VL-1520 (1.5 m两端直连) /VL-1521 (1.5 m L型⇔直连)
显示部 4.3英寸触摸屏彩色液晶
最多可显示4个项目
远程信号输出 输出方式 1制造接点输出 (a接点输出)
功能 输入信号 START/STOP/PAUSE/CALIB
输出信号

  • 从计算状态或错误状态中选择

  • +5V电压输出
匹配连接器 ER03-PB8M (多治见无线制)
接口 RS-232C,以太网 (可选CL-0751)
通用规格 电源 100~240 V交流电±10%，50/60 Hz,功耗:36 VA或更低
外部尺寸 210 (W) x 99 (H) x 150 (D) mm (不含突起部分)
质量 約1.6 kg
工作温度范围 0 ℃～ 40 ℃
保存温度范围 –10 ℃～ 50 ℃
工作湿度范围 20%至85% (非冷凝)
保存湿度范围 20%至85% (非冷凝)
预热时间 40分钟以上
电击保护类 I (3针)
过电压范畴 Ⅱ
使用环境 室内使用 (实验室/工厂)
在海拔2,000米以下使用
污染度:2
一致性标准 RoHS标准 EN IEC 63000
安全标准 EN 61010-1
附件

  • 交流电源线

  • 远程连接器 (Tajimi Radio制造:ER03-PB8M)

  • 使用说明书
CL-7100S附件 CL-0710传感器放大器 外部尺寸 81 (W) mm x 48 (H) mm x 35 (D) mm (不含突起部分)
质量 約210 g
专用缆线 (2.5米) *最长10米 (可选)

选配件

CL-0720高分辨率运算

是提高显示分辨率和测量精度的功能。详细内容请参照概略规格。

CL-0721高阻抗接地模式

即使在接地电阻较大的测量条件下，也能进行稳定的测量。

CL-0722VE测量范围变更

更改VE-5010和VE-5011的测量范围。详细内容请参照概略规格。

CL-0730模拟输出功能

输出点数 3
输出项 从Thickness/Gap A/Gap B/A-B/Temperature中选择※偏差可以选择
输出范围 ± 5 V
负载电阻 100 kΩ以上
精度 (线性) ±0.2% FS以内
更新周期 10 ms
※仅Gap A/Gap B移动平均设定1次时:0.1 ms
匹配连接器 C02型 (BNC)

CL-0731比较器输出功能

输出点数 3
输出方式 1制造接点输出 (a接点输出)
触点电容 最大60 V交流/直流电，最大400 mA (电阻负载)
操作模式 从单个模式/链接模式中选择
独立模式 可为每个端口单独设置测量和上限和下限
联动模式

  • 如果测量值大于上限，则端口1为OPEN

  • 如果测量值小于或等于上限值且大于或等于下限值，则端口2处于打开状态

  • 如果测量值小于下限，则端口3为OPEN
输出项 独立模式 选择OFF/Thickness/Gap A/Gap B/A-B/Error
联动模式 选择OFF/Thickness/Gap A/Gap B/A-B
判定间隔 10 ms
匹配连接器 MC 1, 5/6-STF-3, 81–1827745 (Phoenix Contact)

CL-0732模拟比较器输出功能

可以添加模拟输出和比较器输出功能。

CL-0733模拟输出快速响应功能

模拟输出的上升时间常数为5ms以下的软件。
※搭载CL-0730或CL-0732时可使用。

CL-0740绝缘体测量功能

是能够测量绝缘体厚度的功能。

CL-0741温度测量和校正功能

兼容传感器 测温电阻 (Pt100) 电桥3线
测量范围 0 ℃～ 200 ℃
显示分辨率 0.1 ℃
测量精度 ±0.3% FS (传感器精度除外)
更新周期 200毫秒或更短时间
激发电流 约1mA
匹配连接器 M4螺纹接头

CL-0750BCD输出功能

输出方式 6位并行BCD,开放式收集器
输出项

  • 测量:Thickness/Gap A/Gap B/A-B

  • 操作:Instant/Max/Min/Range

  • 偏差:OFF/ON

以上组合或从Display1/2/3/4中选择
输出更新周期 10 ms
匹配连接器 HDRA-E36MA (本多通信工业制造)
匹配电缆 AA-8207 (3米/单侧开口)

CL-0751以太网通信功能

传输方式 10BASE-T/100BASE-TX自动选择
通信协议 TCP/IP（IPv4）
电气规格 IEEE802.3兼容
功能 专用端口命令控制和数据传输 (套接字通信)
匹配连接器 RJ-45

CL-015晶圆滑台 按订单生产

CL-015是简易型手动滑台，通过组合CL-7100和VE传感器 (保持部<ORG5> 10)，非接触测量半导体和导体晶片 (如硅晶片) 的厚度。为了使真空吸附镊子易于使用，在放置晶片的盘面上有切槽。

CL-015晶圆滑台
CL-015晶圆滑台

对象晶圆外径:100~150 mm厚度:0.1~1 mm
此外，可制作200 mm、300 mm等特别订制工作台。

VE系列电容式间隙检测器

标准类型

类型名称 VE-5010 VE-1020 VE-1520 VE-3020 VE-8020
测定范围 (μm) ※1 50～500 100～1000 150～1500 300～3000 800～8000
轮廓 (mm) ※2 ⌀6 ⌀8 ⌀10 ⌀20 ⌀40
电缆长度 1.5米 (电缆集成) VL-1520/VL-1521电缆 (1.5米) (单独销售)
使用温度范围※3 0～+80 ℃

<ORG3> 10 mm共通夹紧形状类型

类型名称 VE-2011 VE-5011 VE-1021 VE-8021
测定范围 (μm) ※1 20～ 200 50～500 100～1000 800～8000
轮廓 (mm) ※2 ⌀3 ⌀6 ⌀8 ⌀40
电缆长度 VL-1520/VL-1521电缆 (1.5米) (单独销售)
使用温度范围※3 0～+80 ℃

※1测量范围表示从传感器端面到测量对象的最大间隙。
※2测量对象物的测量面需要比传感器外径大的面积。
※3使用温度范围是指可作为传感器工作的温度范围，不是保证直线性的温度范围。
为确保直线性，请在+23°C±2°C的温度下使用。

信号线

VL-1520电缆长度1.5m
(两端直型连接器)		 信号电缆_No.1
VL-1521电缆长度1.5m
(L型连接器-直型连接器)		 信号电缆_No.2
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使用说明书

最終更新日:2025/12/17