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显微装置
LV-0381

LV-0381 是一款用于激光多普勒测振仪显微镜单元。它将激光多普勒测振仪与显微镜光学系统相结合,可将激光聚焦并照射至 ⌀2.5 µm,从而能够检测微小物体高达 3 MHz 的振动(使用可选设备可达 20 MHz)。
同轴入射照明和两台不同放大倍率的数字摄像机*可实现快速、精确的定位和静态图像记录。这使得对微型机械、微机电系统 (MEMS)、其他小型机械零件、压电材料、小型电子器件和微结构的振动和行为进行非接触式、高空间分辨率的检测和评估成为可能。
*当 LV-0181 内置定位相机连接到 LV-1800激光多普勒测振仪

特性

  • 5倍~50倍工作距离的物镜,可以照射最小Φ2.5μm以下的激光

  •  可将检测对象和照射激光以2个倍率 (视野) 同时观察※1并定位 

  •  可进行0.3 Hz~3 MHz (20 MHz) 的振动检测。(安装LV-1800) 

  •  可从一维 (面外振动) 扩展到二维 (面内单轴振动)、三维(X, Y, Z) ※2 

  •  激光多普勒测振仪兼容:LV-1800、LV-1710 *3 / LV-1720 *3 / LV-1720A *3。 

*1 当 LV-0181 内置定位相机连接到 LV-1800激光多普勒测振仪
*2 扩建费用将另行报价。
*3 已停产产品

  • 特性_No.1
    LV-0381图像
    LV-0151B物镜 (×10) 约0.6 mm×约0.5 mm
  • 特性_第2号
    LV-0181 (LV-1800选项)
    LV-0151B物镜 (×10)
    约2.1 mm×约1.6 mm

实例

  • 微机械、MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) 振动分析

  • 微小结构的振动测量

  • 压电元件、陶瓷电容器等电子元件的动作测量

  • 昆虫、生物等的行为检测、测量

配置

配置

レーザードップラー振動計 LV-1800

※100 kHz以上的解析请咨询。

规格

兼容的激光多普勒测振仪 LV-1800、LV-1710 * /LV-1720 * /LV-1720A *
*停售产品
探测光学系统 检测器安装 M22 X 0.5长4 mm
测量距离 38.9 mm (安装物镜X10时)

目标观察装置

CMOS照相机 1280 x 960 (USB 2.0输出)
聚焦装置 方式 手动粗动·微动
上下行程 30 mm
粗动冲程 36毫米/旋转
微动行程 0.2毫米/旋转
悬浮量 100 mm
防跌落 防跌落环装置

基座

材料

铝 (装有磁化钢板)
大小 310 mm X 300 mm

激光产品辐射安全标准

激光安全类 类2
使用环境

 

使用环境 按照对应检测器
质量
15千克 (不含安装的传感器)

物镜

类型名称 倍率 WD 点径
LV-0150B 5 X 36.1 mm Φ4μm以下
LV-0151B 10 X 38.8 mm Φ3μm以下
LV-0152B 20 X 22.5 mm Φ2.5μm以下

※关于其他的倍率请咨询。

最終更新日:2022/02/01