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高分辨率线性传感器
GS-3813B/GS-3830B

GS-3813B/GS-3830B是亚微米线性测量传感器,同时具有耐久性优异的轴承和IP66G防尘、防滴性能,是支持自动装置在线测量的高分辨率线性测量传感器。
采用滚珠花键轴承与新光学系统的开发,可同时兼顾高分辨率与耐环境性能。
可通过矩形波输出 (线性驱动器输出) 获取检测信号,可直接连接PLC。
使用GS-3813B/GS-3830B直线导轨传感器时,需要DG-5100数字仪表计数器

特性

高分解能化
1μm→0.1μm

保护构造IP66G
不仅防尘、防水,还实现了耐油性

大幅提高轴承寿命和耐环境性能
高分解能类型同时也支持自动机械使用
・轴承寿命滑动次数500→1500万次
・耐振动98→196 m/s 2
・耐冲击980→1960 m/s 2

实例

激光等光学系统使用的玻璃部件的高精度尺寸测量

激光设备用玻璃部件等,在研磨加工工序中用接触式高精度直线导轨进行尺寸检查,确保中间工序的精度,送到最后工序的光学检查工序。

  • 激光等光学系统使用的玻璃部件的高精度尺寸测量

硅片厚度测量精度为1μm

使用高精度线性测量传感器测量硅片厚度,精度为1μm。ST-0230规格支架适用于4英寸以下的小型晶圆。

  • 硅片厚度测量精度为1μm

硅晶圆等有翘曲的材料的高精度厚度测量

高精度测量弯曲的板状材料 (如硅晶片) 的厚度。为了不受翘曲的影响,请使用具有结构的特殊支架,其中GS-3813B仪表传感器的测量器撞击的部分由“凸透镜”接收,并且其他4个点由销支撑。
将GS-3813B量规传感器的测量器中心与凸透镜中心对齐,可在几乎不受翘曲影响的情况下测量厚度。测量数据通过RS-232C接口输入计算机,可进行统计处理等2次处理。

  • 硅晶圆等有翘曲的材料的高精度厚度测量

规格

  GS-3813B GS-3830B
测量范围 13 mm 30 mm
自适应量规计数器 DG-5100
分辨率 0.1 µm
指示精度 (20°C时) 1 µm
最大响应速度*1 300 mm/s (1.2 m/s)
测量力 (向下) ※2 2.3 N以下 2.7 N以下
测定力变更范围 (可选) ※2 0.9~2.3 N 1.6~2.2 N
测定力变更范围 (可选) ※3 2.7~3.0 N (不可)
滑动次数 (根据本公司条件) 1500万次
保护级别 (连接器部件除外) IP66G
杆径 ⌀15 mm+0 -0.009
供电电源 DC 4.5~5.5 V
电流消耗 (5V直流供电) 150 mA以下
信号输出 (DC5V供电) 90°相位差分矩形波RS422A适合线性驱动器输出 (相当于26C31产品)
耐振动 (不通电时) ※4 196 m/s 2 3轴每个方向 (每方向75分钟) 10 Hz至150 Hz扫描10次循环
耐冲击 (非通电时) ※4 1960 m/s 2 3轴各方向各方向±X, Y, Z各3次正弦半波作用时间6 ms
工作温度范围 0~40 °C
保存温度范围 -10~55 °C
电缆长度 约5m
质量(电缆,包括连接器) 约350 g 约420 g
外部尺寸 外部尺寸
附件 使用说明书、扳手
价格    
选配件
  • AA-969手指提举
  • ST-0230、ST-044B仪表台
  • AA-4104 (13毫米) /AA-4105 (30毫米) 更换用防尘橡胶
  • AA-844 (30毫米) /AA-845 (50毫米) 加长主轴
  • 各种测量器
  • AA-3310夹具
  • AA-8901 (5米) /AA-8902 (10米) /AA-8903 (20米) /AA-8904 (30米) 延长缆线
信号电缆附件

※1使用本公司仪表盘计数器时,括号内为使用DG-5100时的电气响应速度。
※2横向使用 (10°C以下)、向上使用时,主轴可能无法完全复原。
※3可向上使用的改造时的变更范围。(数值为向下的测量力)
※4测量中的耐振动、耐冲击不保证标记值。
※信号电缆中途断开、改造时不符合CE标志。