非接触测厚仪及相关仪器概要
使用高稳定型静电容量式微小位移传感器（间隙检测方式），实现非接触，高精度厚度测量。根据测量对象和测量物的形状，可选择9种传感器，并可与测厚仪（CL系列）或位移传感器（VT系列）配套使用，可以针对使用用途进行测量。
适用于涡轮机、电动机、压缩机等旋转机械的轴振动、端面跳动，以及移动中物体的厚度、宽度测量与控制等应用领域。不仅可进行位移量测量，还可用于偏转量、弯曲量的测量与控制。
| VE-5010 VE系列传感器 (电缆集成) | VE-1020 VE系列传感器 (电缆集成) | VE-1520 VEシリーズ センサー |
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| 特长 测量范围: 50~500μm 外形:Φ6 电缆长:1.5 m |
特长 测量范围: 100~1000μm 外形:Φ8 电缆长:1.5 m |
特长 测量范围: 150~1500μm 外形:Φ10 电缆 (选配) : VL-1520/1521 (1.5 m) |
| VE-3020 VEシリーズ センサー | VE-8020 VEシリーズ センサー | |
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| 特长 测量范围: 300~3000μm 外形:Φ20 电缆 (选配) :VL-1520/1521 (1.5 m) |
特长 测量范围: 800~8000μm 外形:Φ40 电缆 (选配) :VL-1520/1521 (1.5 m) |
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| 适合计量器 VT-5200/VT-5700、CL-7100/CL-7100S |
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| VE-2011 VEシリーズ センサー | VE-5011 VEシリーズ センサー | VE-1021 VEシリーズ センサー |
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| 特长 测量范围:20~200μm 外形:Φ3 (前端) 电缆 (选配) : VL-1520/1521 (1.5 m) |
特长 测量范围:50~500μm 外形:Φ6 (前端) 电缆 (选配) : VL-1520/1521 (1.5 m) |
特长 测量范围:100~1000μm 外形:Φ8 (前端) 电缆 (选配) : VL-1520/1521 (1.5 m) |
| VE-8021 VEシリーズ センサー | ||
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| 特长 测量范围:800~8000μm 外形:Φ40 电缆 (选配) :VL-1520/1521 (1.5 m) |
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| 适合计量器 VT-5200/VT-5700、CL-7100/CL-7100S |
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应用示例1 薄膜 (绝缘体) 厚度的监视
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方框图
| CL-7100 非接触测厚仪 | CL-7100S 非接触非接触测厚仪 (传感器放大器分离型) |
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CL-0710传感器放大器
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| 测量项目 Thickness:测量对象物的厚度 (导体/半导体) Gap A:传感器A与测量对象物的间隙 Gap B:传感器B与测量对象物的间隙 A-B:高度差、平行度 (A-B) Thickness:测量对象物的厚度 (绝缘体) ※CL-0740绝缘体搭载测量功能时 Temperature:温度 ※CL-0741搭载温度测量、修正功能时 |
测量项目 Thickness:测量对象物的厚度 (导体/半导体) Gap A:传感器A与测量对象物的间隙 Gap B:传感器B与测量对象物的间隙 A-B:高度差、平行度 (A-B) Thickness:测量对象物的厚度 (绝缘体) ※CL-0740绝缘体搭载测量功能时 Temperature:温度 ※CL-0741搭载温度测量、修正功能时 |
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选配件
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选配件
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适合传感器 |
适合传感器 VE系列 |
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VT系列包括专用于交流电的VT-5200系列 (用于实验室和研究) 和专用于直流±15V的紧凑型VT-5700系列 (用于线路集成) 。
另外，输出的响应频率有4kHz、10kHz,请根据用途选择。
| VT-5210 非接触位移计 (4 kHz) | VT-5220 非接触位移计 (10 kHz) | VT-5710 非接触位移计 (4 kHz) |
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| 特点 输出:0~5 V/ 0~100%F.S. 直线性:±0.2%F.S./ 10~100%F.S. 响应频率:DC~4 kHz 监视器显示:20分割LED 模拟输出偏移功能 |
特点 输出:0~5 V/ 0~100%F.S. 直线性:±0.25%F.S./ 10~100%F.S. 响应频率:DC~10 kHz 监视器显示:20分割LED 模拟输出偏移功能 |
特点 输出:0~5 V/ 0~100%F.S. 直线性:±0.2%F.S./ 10~100%F.S. 响应频率:DC~4 kHz 监视器显示:10分割LED |
| 电源 AC 100~240 V/10 VA |
电源 DC±15 V/100 mA |
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| VT-5720 非接触位移计 (10 kHz) | ||
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| 特点 输出:0~5 V/ 0~100%F.S. 直线性:±0.25%F.S./ 10~100%F.S. 响应频率:DC~10 kHz 监视器显示:10分割LED |
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| 电源 DC±15 V/100 mA |
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| 兼容传感器 VE系列 | ||
| VL-1520电缆长度1.5m (两端直型连接器) |
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| VL-1521电缆长度1.5m (L型连接器-直型连接器) |
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