电容式非接触位移计
VT-5700シリーズ
新开发的VE系列静电容量式间隙检测器和VT系列变换器的组合，非接触高精度测量到测量对象(铁、铝、铜、各种金属镀层等导电体)的距离・位移的静电容量式细微位移计。根据测量对象物面和相对设置的VE系列传感器电极的端面形成的电容器的静电容量，测量传感器端面和靶面的间隙、位移。VT-5700系列是适用于嵌入用途的小型低价型产品，包括响应频率为4kHz的VT-5710和支持10kHz高速响应的VT-5720 2种型号。在涡轮机、电动机、压缩机等旋转机的轴振动和表面跳动、硅晶圆、硬盘等导电体的翘曲和平面度、厚度的测量控制中发挥威力。由于是非接触检测，因此不会对旋转或振动的测量对象施加负荷，而且不会改变振动模式。VE传感器备有测量范围20μm~8 mm用的9种。
| 类型名称 | VT-5710 | VT-5720 |
|---|---|---|
| 检测方法 | 电容式 | |
| 输出 | 0～5 V/0～100 % F.S. | |
| 线性 | ±0.2 % F.S. / 10～100 % F.S. | ±0.25 % F.S. / 10～100 % F.S. |
| 响应频率 | DC ～4 kHz | DC ～10 kHz |
| 指示器 | 0~100 %/10分区指示灯 | |
| 工作温度范围 | 0~+40°C (精度保证范围:23±2°C) | |
| 使用的电源 | DC ±15 V、100 mA | |
| 外部尺寸 | 56 (W) x 42.4 (H) x 122 (D) mm (不含突起部分) |
|
| 质量 | 约500 g | |
| 价格 | ||
| 类型名称 | VE-5010 | VE-1020 | VE-1520 | VE-3020 | VE-8020 |
|---|---|---|---|---|---|
| 测定范围 (μm) ※1 | 50～500 | 100～1000 | 150～1500 | 300～3000 | 800～8000 |
| 轮廓 (mm) ※2 | ⌀6  |
⌀8  |
⌀10  |
⌀20  |
⌀40  (保持部<ORG3> 20) |
| 电缆长度 | 1.5米 (电缆集成) | VL-1520/VL-1521电缆 (1.5米) (单独销售) | |||
| 温度系数 | k1＝1.7×10-5、k2＝3.4×10-5 | ||||
| 使用温度范围※3 | 0～+80 ℃ | ||||
| 价格 | |||||
| 类型名称 | VE-2011 | VE-5011 | VE-1021 | VE-8021 |
|---|---|---|---|---|
| 测定范围 (μm) ※1 | 20～ 200 | 50～500 | 100～1000 | 800～8000 |
| 计量部外形 (mm) ※2 | <ORG9> 3 (保持部) 10  |
<ORG9> 6 (保持部) 10  |
<ORG9> 8 (保持部) 10  |
<ORG9> 40 (保持部) 10  |
| 电缆长度 | VL-1520/VL-1521电缆 (1.5米) (单独销售) | |||
| 温度系数 | k1＝1.7×10-5、k2＝3.4×10-5 | |||
| 使用温度范围※3 | 0～+80 ℃ | |||
| 价格 | ||||
| VL-1520（両端ストレートタイプコネクター） |
 |
| VL-1521（L型コネクター-ストレートタイプコネクター） |
 |