非接触测厚仪及相关仪器概要
VE系列间隙检测器根据传感器和测量对象的静电容量测量和显示间隙 (位移) 。电容C是导体相对面积S、间隙D等的函数。
对向导体 (传感器和测量对象) 为平行板时如图所示，根据电容测量间隙。虽然这种思维方式比以前更多，但由于C和D成反比并且电容很小，因此难以获得宽的测量范围和稳定性。
本公司通过新的电路方式，解决了这些缺点，实现了更高精度的优异稳定性。
测量导体、半导体时
测量导体时，在测量范围内平行设置2个传感器。
为CL-7100系列设置2个传感器之间的距离 (Gs) 。
在传感器A、B之间插入被测物，测量各传感器-被测物的间隙(Ga、Gb)，求出厚度 (t) 。
用于测量绝缘体 (CL-0740选项)
为CL-7100系列设置传感器与导体 (基础地板) 之间的间距 (Gs) 。在传感器和导体 (基准地板) 之间插入被测物后，传感器的输出为Ga，根据传感器输出的变化量和相对介电常数εr求出厚度 (t) 。
(CL-0740绝缘体测量功能)
εr:相对介电常数 (真空介电常数为1时被测物的介电常数称为相对介电常数。