国内トップレベルの5m/s高速応答性
従来比約1/2の低価格
製品の小型化・高密度化と製品価格の低下に伴う製造コストの圧縮で、チップマウンタのような生産設備にも、更なる速さと精度が要求されるようになってきました。また、パソコンの高機能化によって、プリンタなどの周辺機器も、より速く、正確に機能することが求められています。そして、そのためには、マウンタのアームやプリンタヘッドが、高速で移動しながら正確な位置をキープする精度の高い位置制御が重要になります。こうした位置制御の精度を検証するには、移動体の動きに影響を与えない非接触のレーザー測長器が有効ですが、既存の測長器では、高速化する移動体のスピードに追従しきれない場合があり、また価格も高額であることが課題となっていました。
今回、新たに開発したレーザー測長器「LV−8600」は、レーザーの干渉方式を変更することで、従来の約3倍（当社比）の5m/sという、国内でもトップレベルの高速応答性を実現しています。これによって、スピードアップが進むチップマウンタのアームの動きなどを捉え、確実なデータサンプリングを行います。照射するレーザー光も、特殊な波長制御によって、波長の揺らぎを従来の10分の1（当社比）に抑え、再現性の高い測定データを得ることができます。また、干渉計とセンサーヘッドが一体となっているため、光軸の調整が容易で、センサーの取付けが簡単であるほか、A相，B相の2相信号出力を標準装備し、移動体の移動方向の判別を可能にしています。さらに、オプションの解析ソフトウェアと組合せることで、高速で直線移動する移動体の動特性解析（変位、速度、ピッチング、ヨーイングなど）を行うことができます。こうした使い勝手の良さから、インラインでの利用が更に広がるものと期待しています。
