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检测速度5 m/s,最大采样1 MHz,
实现分辨率0.155 nm高分辨率、高精度激光测长计系统

LV-9300A激光测长仪单元LV-9002激光测长传感器LV-0121A位移单元

1ch测长器·2ch测长器

  • LV-9300A激光测长仪单元LV-9002激光测长传感器LV-0121A位移单元

可移动、静止、定位至目标位置的线性工作台装置,以喷墨式打印机和扫描仪头的移动机构为首,广泛应用于NC控制的机械加工装置、输送装置、基板和半导体曝光装置等多个领域。线性工作台装置具有移动精度、移动速度、速度不均、移动时的摇摆 (俯仰和偏航) 等各种质量要求项目。另外,最近对定位的高精度化和移动速度的高速化提出了更高的要求,因此,为了评价装置性能,期待具有纳米以下分辨率的高速、高精度激光测长仪的问世。

新开发的激光测长计系统(LV-9002激光测长传感器、LV-9300A激光测长仪、LV-0121A位移单元)使用He-Ne激光,是能够以1 MHz采样和0.155 nm分辨率测量最大5 m/s直线位移的“高精度、高速响应”非接触测长系统。本系统内置有干涉仪,结构简单,安装简单快捷。另外,通过LV-0930位移分析软件选件,可从USB输出读取测量数据,以1 MHz的采样频率,进行测量物的移动轨迹及停止时发生的过冲等动态特性分析、位移上重叠成分的FFT分析、数字滤波处理,以及出口时所需的符合ISO230-2的定位精度试验等。

激光测长仪系统由3个单元(LV-9002传感器单元LV-9300A激光单元LV-0121A位移单元)构成,根据单元的组合,可构成1ch测长仪或2ch测长仪的俯仰偏航或差分测量系统。

干涉仪一体型的简单构造
最大可测量±10 m
最大1 MHz采样、5 m/s的高速响应
组合LV-0930动态特性分析软件,以1 MHz的采样频率高速响应,以图形方式显示移动轨迹及振动轨迹
标准配备USB 2.0数字输出

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