极微小部件的高频振动测量

• 激光光斑直径最大可达1.5μm
• 使用相机，可以在观察激光束照射情况的同时记录测量和静止图像和运动图像的照射情况
• 采用激光多普勒方式，可在高频域测量0.01 nm的位移
• 可测定标准规格为1 Hz~3 MHz、特殊规格为1 Hz~20 MHz的振动速度

LV-0148显微镜单元是一款微型物体振动测量系统，它将LV-1700系列激光多普勒测振仪与LV-0150系列物镜相结合。通过将LV-1700系列激光多普勒测振仪的激光束聚焦并照射至1.5 μm或更小，它可以检测微小物体的振动速度，最高可达3 MHz（选配设备后可达20 MHz）。该单元还配备了同轴反射光照明装置和数码相机（也可选配闭路电视摄像机），可以清晰地观察激光照射的检测区域，并记录静态图像和视频。使用LV-0148，可以检测MEMS各部件的振动特性，并测量压电元件和微型机械部件的振动（加速度、速度、位移）。