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利用激光评估MEMS和微机械

用于激光多普勒测振仪显微镜单元 LV-0381/LV-0383

  • 用于激光多普勒测振仪显微镜单元 LV-0381/LV-0383

LV-0381显微镜单元和LV-0383三维显微镜单元是用于激光多普勒测振仪的光学单元,用于检测微小物体的振动。它们能够检测微机电系统(MEMS)、压电元件、微结构以及超声驱动物体的振动,这些振动难以通过接触式方法检测。LV-0381为单轴显微镜单元。LV-0383三维显微镜单元采用三个激光多普勒测振仪,可非接触式地检测三个轴向的振动。每个单元都能快速、精确地定位激光束,并使用同轴入射照明和两个不同放大倍率的数字摄像机(可选)记录静态图像。振动频率分析范围高达100 kHz,可以观察物体在X、Y和Z方向上的振动速度、加速度和位移,并进行各种频率分析。

微小物体、微小区域振动检测 (LV-0383/LV-0381)

可检测激光光斑直径最小为2.5μm (LV-0381) 的振动。
可以高空间分辨率检测、评价微小物体、微小区域。

检测X、Y、Z和3轴振动 (LV-0383)

可进行0.3 Hz~100 kHz的3轴振动检测 (LV-0383) 。
可检测出压电体的剪切方向产生的横向振动、超声波振动。

同时观察两个放大系数 (LV-0383/LV-0381)

1280 x 960 尺寸的 CMOS 数码相机可以实现精确的激光束定位。
此外,通过将LV-0181内置定位摄像头(OP:VGA)连接到LV-1800激光多普勒测振仪,
通过两种不同的放大倍率设置(大和小),您可以快速监控物体、定位激光束并记录图像。

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