位移分解能0.1 nm、测量范围最大±5 m
最大1 MHz的高速采样
数据为模拟&数字输出
CCD相机可轻松检测微小物体
丰富的数据分析工具支持有效的测量、分析
传统的振动位移检测主要涉及将加速度（m/s²）或速度（m/s）转换为位移。然而，许多采用微机电系统（MEMS）和压电元件的执行器采用矩形驱动或直流偏移，使得依赖积分处理的传统加速度传感器或激光多普勒测振仪无法进行精确的位移测量。
新开发的LV-2100激光干涉仪无需负载或接触，即可直接利用直流电源，以1 MHz的采样率和0.155 nm的高位移分辨率，检测MEMS和压电元件的微小高速振动位移。它拥有最小光斑直径φ1.5 μm和高空间分辨率，可测量高达5 m的位移行程。数字位移输出不受振幅范围的影响，分辨率不会下降。丰富的硬件和软件支持，包括可选的位移分析软件（LV-0930）、FFT分析仪和“Oscope/Oscope Professional”时序分析工具，可实现更高效的测量和分析。
