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实现0.05μm高分辨率、±0.5μm高精度测量

  • 实现0.05μm高分辨率、±0.5μm高精度测量

<直线导轨传感器HS-3412/3425>

  • 高分辨率:0.05μm,高精度:±0.5μm

  • 防尘结构 (防护等级:IP 50)

<数字仪表计数器HG-4370>

  • 采用大型LED (文字高度:14 mm)

  • 偏移功能/因子功能/峰值保持功能(MAX、MIN、RANGE)

  • 测量值可以打印在专用打印机上

在日益复杂化、微细化的零件、模具、透镜、半导体等需要精密加工的工业领域,尺寸、位移测量要求亚微米分辨率的高精度。新产品线性仪表传感器HS-3412/3425利用本公司独有的线性仪表信号处理技术,与高分辨率数字仪表计数器组合,实现了高分辨率:0.05μm,高精度:±0.5μm。此外,测量功率很轻,为0.6 N,因此可以尽可能地减轻对象上的负荷。防尘结构 (防护等级:IP 50),可单独更换传感器。此外,与该直线导轨传感器配套使用的数字仪表计数器HG-4370,采用易于查看显示值的大型LED (文字高:14 mm),内置分辨率切换功能 (0.05μm/0.1μm/0.5μm)、偏移功能、系数功能、峰值保持功能(MAX、MIN、RANGE),可通过比较器进行OK/NG判定,通过RS-232C与电脑连接,还可通过专用打印机 (选配) 进行测量值打印。

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