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关于激光多普勒测振仪常见问题

问题编号常见问题解答-1351

LV-0121A数字位移计 (边缘计数器) 位移测量

LV-0121A 数字位移计(条纹计数法)是位移测量的可选组件,它利用内置于传感器头中的干涉仪,并与激光多普勒测振仪配合使用。它通过计数参考光与被测物体反射光之间的相位差所引起的光亮和暗度(干涉条纹:条纹),并将位移以数字和模拟信号的形式输出。

数字信号的最大采样频率为1 MHz,最高分辨率为0.155 nm (※)),模拟位移信号频率为DC~100kHz (-3dB) 。(※需要位移分析软件LV-0930。)

LV-0121A数字位移计可以测量位移振幅,包括物体静止状态 (DC) 的瞬时位移 (矩形) 和DC偏移。位移 (包括低频振幅和偏移) 使用数字位移计的位移输出,高频振幅使用多普勒振动计的速度输出,以实现宽带振幅测量。

原理

LV-0121A数字位移计的工作原理是,当用激光照射物体并将反射的激光与原始入射光重叠时,如果光的相位 (波峰和波谷) 匹配,则光的强度最大,如果完全相反,则消除并变暗。

在下图中,当L 1 =L 2时,由于来自参考镜的回光和来自测量镜的回光的相位匹配,因此变亮。然后,当测量镜移动并且光路差变为λ/2 (λ=激光振荡波长) 时,它变为相反相位 (偏移180度) 并且变暗。

这样,随着测量镜 (测量对象) 的移动,L 1和L 2之间的光路差以λ/2为单位,产生明/暗干涉条纹。通过计算干涉条纹,可以测量位移量。

注)用于LV系列的He-Ne激光器的振荡波长 (λ) 约为632.8nm。LV-0121A数字位移计以该波长为基准测量位移。

测量实例


LV-0121A数字位移计悬臂矩形位移值

上次更新时间:2011-05-23