电容式厚度计、位移计常见问题
问题编号FAQ-0150
静电电容式厚度计·位移计测量值的再现性如何?
以下是使用CL-5600系列厚度计测量硅片厚度的示例。通过牢固地保持采样，可以获得非常好的测量可重复性。硅晶片的情况下，通常用吸引空气固定在测量台上。
| 使用设备 |
|
|---|---|
| 测量样品 | 硅晶片 (5片) |
| 测量点 | 晶片中心 |
CL-015晶圆用滑台
(附真空吸附装置选件)
上次更新时间:2011-04-18