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电容式厚度计、位移计常见问题

问题编号FAQ-0143

静电容量式厚度计和位移计在测量导体和半导体的厚度时,为什么需要使用基准片进行校准?

静电容厚度计・位移计 CL系列通过间隙测量值计算厚度。
如果不知道两个传感器之间的距离,就无法从间隙值计算厚度,因此需要通过基准片进行校准,以确定传感器之间的间隙。

● 从校准到厚度测量的流程

  • 每个传感器测量放置参考片的距离 (1) 。
  • 根据基准片的厚度和传感器的测量结果,求出传感器间的距离 (2) 。
  • 插入测量对象,测量距离 (3) 。
  • 根据测量的距离计算测量对象的厚度 (4) 。

可以测量的厚度可以通过改变传感器的固定位置来自由设置。因此,即使是有厚度的,也可以进行高分辨率的测量。

上次更新时间:2011-04-18