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电容式厚度计、位移计常见问题

问题编号FAQ-0143

为什么在使用电容式测厚仪或位移式测厚仪测量导体和半导体的厚度时,需要使用参考样品校准?

CL系列电容式厚度计和位移计通过间隙测量来计算厚度。
由于在不知道两个传感器之间的距离的情况下无法根据间隙值计算厚度,因此需要使用参考件校准以确定传感器之间的间隙。

● 从校准到厚度测量的流程

  • 每个传感器测量放置参考片的距离 (1) 。
  • 根据基准片的厚度和传感器的测量结果,求出传感器间的距离 (2) 。
  • 插入测量对象,测量距离 (3) 。
  • 根据测量的距离计算测量对象的厚度 (4) 。

可以测量的厚度可以通过改变传感器的固定位置来自由设置。因此,即使是有厚度的,也可以进行高分辨率的测量。

上次更新时间:2011-04-18