电容式厚度计、位移计常见问题
问题编号FAQ-0141
静电容量式厚度计·位移计是如何测量导体·半导体的厚度的呢?
VE系列间隙检测器是用于测量间隙的传感器,但您可以使用两个VE传感器来计算厚度。
如下图所示,将2个VE传感器夹在测量对象之间。两个VE传感器测量间隙值(Ga、Gb),但是如果您知道传感器之间的距离 (GS),您能计算被测量的厚度 (t) 。

VE传感器之间的距离可以通过插入参考件并测量间隙值来确定。更多详情请参阅“为什么在使用电容式厚度计/位移计测量导体和半导体厚度时需要使用参考件进行校准?”
上次更新时间:2011-04-18