电容式厚度计、位移计常见问题

线性是测量相对于真实距离的最大误差范围。

对于位移测量，线性规范是精度。例如，使用VE-1520作为传感器时，满刻度(F.S.)为1500μm,因此精度为±2.25μm。

在厚度测量中，测量两个传感器之间的距离并计算厚度；因此，最大误差规格是线性度规格的两倍。然而，通常情况下，厚度测量过程中会使用标准件来校准参考厚度。由于距离变化较小时误差变化也较小，因此使用标准件进行校准可以抑制测量误差。通过为每种待测工件准备一个标准件，尽量减小标准件与待测工件之间的厚度差异，并尽量减少测量过程中工件位置的变化，可以将误差控制在规格要求以下。