电容式厚度计、位移计常见问题

线性是测量相对于真实距离的最大误差范围。

对于位移测量，线性规范是精度。例如，使用VE-1520作为传感器时，满刻度(F.S.)为1500μm,因此精度为±2.25μm。

厚度测量时，使用两个传感器分别测量距离，通过运算计算厚度，因此最大误差规格是线性规格的两倍。然而，通常在厚度测量中使用标准件进行基准厚度的校准。当距离变化较小时，误差变化较小，因此进行标准件校准可以降低测量误差。针对不同类型的检验工件准备标准件，减少标准件与检验工件之间的厚度差，并且通过抑制测量时工件位置的变化，可以将误差控制在规格要求之下。