超高灵敏度、低噪声TEDS对应3轴加速度传感器NP-7320N10

灵敏度为100 mV/ (m/s ²)，自噪声小于28μm/s ² rms

新闻稿

电子测量仪器制造商和分销商小野小野测器器株式会社（社长：大越祐史）于 2024 年 2 月 7 日开始销售“NP-7320N10”，这是一款超高灵敏度、低噪声的TEDS对应3轴加速度传感器能够测量纳米级的地板振动。

超高灵敏度、低噪声TEDS对应3轴加速度传感器NP-7320N10

本产品是“三轴加速度传感器NP7310”的升级版。近年来，随着自动驾驶和云计算的蓬勃发展，半导体已成为我们生活中不可或缺的一部分。在需求不断增长的同时，半导体制造企业也在努力进一步缩小半导体的尺寸并实现大规模生产，但所需的精度已从几十纳米降低到几纳米，这就需要更加精细的加工工艺。

因此，工厂地板不必要的振动对产品的加工精度和检查等产生很大影响，这是导致成品率下降的主要原因。为了进行稳定的生产，有必要掌握现场人类感官不理解的微小振动并采取对策。

为了检测这些微小的振动，我们推出了之前销售的三轴加速度传感器升级版。这款产品在保持与前代产品相同灵敏度（100 mV/(m/ ^s²)）的同时，噪声水平低于 28 µm/ ^s² rms，能够测量现场所需的纳米级振动。通过向市场推出这款产品，我们将为半导体的稳定供应做出贡献。

特性

超高灵敏度、低噪音/3轴同时测定/防水构造IP67/TEDS对应/CE符合

目标需求

希望探讨半导体制造装置和精密加工机的适当设置场所
希望掌握制造时安装地板的振动影响

设备详细信息

本产品是一款集成压电前置放大器的 TEDS ^*1三轴加速度传感器，灵敏度为 100 mV/(m/ ^s²)，自噪声为 28 µm/s² ^rms或更低。

另外，通过与本公司的便携式FFT分析仪“CF-9400A”配合使用，可实时测量地板振动评估中使用的Tripatite曲线图^*2和VC曲线^*3的显示。在现场可以马上掌握地板的震动情况。此外，可以在现场进行更详细的波形分析，例如频率分析和固有频率测量。

*1 IEEE标准化描述格式的通用术语，它可以记录在传感器内置的EEPROM中，并以电子方式读写传感器特定信息。
*2允许在频率轴上读取基于速度的加速度和位移振幅的图形。
*3 VC曲线是广泛用作半导体制造设备和精密机械领域中微振动评估标准的指南。无论频率如何，速度都是恒定的，并且以6 dB为增量分为5个阶段(VC-A、VC-B、VC-C、VC-D、VC-E)。